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在半導(dǎo)體制造過程中,靜電是一個需要嚴(yán)格控制的因素,因為即使是微小的靜電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面,從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。
在整個半導(dǎo)體制造過程中都會產(chǎn)生靜電荷,主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產(chǎn)率和良率,靜電荷會靜電吸引(ESA)空氣中的顆粒,從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面,以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對半導(dǎo)體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機等設(shè)備通過電暈放電產(chǎn)生正負離子,中和空氣和工作表面的靜電荷,從而減少靜電吸附和放電對半導(dǎo)體制造過程的影響。
離子風(fēng)棒
特點:
使用微脈沖高壓技術(shù)
靈活而強大的設(shè)置
的電暈線設(shè)計(無發(fā)射點)
μWire AeroBar 5711靜電消除器
μWire AeroBar 5711型靜電消除器在垂直或水平位置均能保持良好性能,加上 μWire AeroBar的低調(diào)高度和長度設(shè)計,使其易于安裝在各種平板工具位置(例如郵筒、傳送帶和裝卸卡帶區(qū)域,以及許多后端半導(dǎo)體組裝和測試區(qū)域)。
特點:
微脈沖高壓技術(shù)
5711 AeroBar 遠程控制器
尺寸緊湊,的電暈線設(shè)計(無發(fā)射點)
應(yīng)用場景:
由于半導(dǎo)體制造過程對靜電極為敏感,SIMCO思美高的靜電控制產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用非常關(guān)鍵,以下是具體的應(yīng)用場景。
晶圓制造和處理
在晶圓制造過程中,離子風(fēng)槍如Top Gun可用于清潔和中和靜電,防止灰塵和其他微粒附著在晶圓表面,這可以避免因靜電吸引導(dǎo)致的污染問題。
芯片組裝與封裝
在芯片的組裝和封裝階段,靜電可能會損壞集成電路。使用Simco-Ion的離子發(fā)生器、離子棒或離子風(fēng)槍可以幫助消除靜電,保護敏感元件。
測試和檢測設(shè)備
使用數(shù)顯靜電場測試儀,可以實時監(jiān)測工作環(huán)境中的靜電水平,確保生產(chǎn)環(huán)境處于安全靜電范圍內(nèi),并驗證防靜電措施的有效性。
自動化生產(chǎn)線
對于高度自動化的生產(chǎn)線,可以集成帶有光控感應(yīng)開關(guān)的離子風(fēng)槍或者安裝離子棒,實現(xiàn)全自動靜電消除,保證生產(chǎn)線上的每個環(huán)節(jié)都受到靜電保護。